旋轉塗佈是利用高速旋轉產生的離心力，讓塗佈液在基板表面均勻展開的常見薄膜製備方式，常用於光阻、溶液型薄膜與前置處理流程。
採 5.6 吋彩色觸控介面與 4 段程控設定，可搭配不同轉速與時間條件建立塗佈流程。
| 塗佈範圍 | φ120 mm 以下玻璃基板或薄片 |
| 轉速範圍 | 280~8500 RPM，直流無刷馬達 |
| 程控記憶 | 4 段程控設定，可儲存 10 組記憶 |
| 內槽 | 160 mm 不鏽鋼內槽 |
| 真空吸盤 | 標準 1/2" PTFE（12.7 mm），可選配 1/4"（6.35 mm）吸盤 |
| 時間範圍 | 0~999.9 秒 |
| 尺寸 / 電源 | W265 × D300 × H265 mm；110V / 50-60Hz |
適合 PDMS 混合後脫泡、小量樣品前置處理，以及乾燥後樣品的冷卻與防潮保存。真空乾燥皿形式便於觀察內部狀態，也常用於薄膜塗佈前後需要短時間減壓或隔絕濕氣的流程。
| 產品形式 | 小型真空乾燥皿 |
| 外徑 | Φ366 mm |
| 內徑 | Φ300 mm |
| 內部高度 | 240 mm |
| 層板尺寸 | Φ289 mm |
| 材質 | PC 聚碳酸酯本體、矽膠氣封、金屬針閥 |
| 使用條件 | 建議 0~55°C；可耐高真空至 1 torr |
適合薄膜塗佈前後的樣品前置處理、多件小樣品暫存，以及 PDMS 或樹脂材料減壓脫泡。方形真空乾燥箱搭配隔板配置，方便進行樣品分層放置、乾燥後保存與防潮管理。
| 外部尺寸 | 30 × 28.7 × 31 cm |
| 內部尺寸 | 25 × 21 × 25 cm |
| 配置 | 2 個隔板、2 個針閥、1 個真空錶 |
| 材質 | PC 聚碳酸酯透明本體、矽膠氣封、金屬針閥 |
| 使用條件 | 建議 0~55°C；可耐高真空至 1 torr |
適合需要較大空間的樣品前置處理、塗佈後基板暫存，以及 PDMS 或樹脂材料的減壓脫泡與保存。較寬裕的箱體空間有助於放置較大樣品或同時處理多件材料，常用於前置處理後的真空保存與防潮流程。
| 外部尺寸 | 41.8 × 39.8 × 38.1 cm |
| 內部尺寸 | 28 × 31 × 29.3 cm |
| 配置 | 3 個隔板、2 個針閥、1 個真空錶 |
| 材質 | PC 聚碳酸酯透明本體、矽膠氣封、金屬針閥 |
| 使用條件 | 建議 0~55°C；可耐高真空至 1 torr |
減壓、脫泡等應用中乾燥皿及乾燥箱可搭配無油式真空幫浦。
適合搭配真空乾燥、脫泡與一般實驗室真空流程。無油式設計可避免油霧污染，並附進氣過濾芯、真空調壓閥與過熱保護。
| 最大流量 | 55 L/min @60Hz；45 L/min @50Hz |
| 最大真空度 | 25 mbar abs. |
| 接管內徑 | ID8 |
| 噪音值 | 68 dB |
| 尺寸 | 35 × 13 × 21 cm |
| 重量 | 7.3 kg |
| 標配 | 進氣過濾芯、真空調壓閥、過熱保護 |
提供更高流量版本，適合需要較快抽氣或較大腔體搭配的真空前置處理流程，同樣採無油式設計並具備真空調壓與過熱保護。
| 最大流量 | 65 L/min @60Hz；55 L/min @50Hz |
| 最大真空度 | 25 mbar abs. |
| 接管內徑 | ID10 |
| 噪音值 | 68 dB |
| 尺寸 | 35 × 13 × 21 cm |
| 重量 | 7.0 kg |
| 標配 | 真空調壓閥、過熱保護 |
